美国BARDEN专用半导体轴承

美国BARDEN专用半导体轴承

在如今，以半导体制造业为代表的先进行业的生产加工环境十分复杂，涉及多种因素，一是真空，许多半导体部件的加工都在真空环境中进行，这就对其中运行的轴承提出了前所未有考验，二是清洁，真空环境生产的目的就是为了清洁，所以轴承传统的润滑方式就不再适合，三是腐蚀，半导体制造产生的杂质中，多有酸性特征，其腐蚀性对相关环节轴承亦有较高的要求。但在半导体制造业中，轴承又是不可或缺的，因此这里使用的轴承就需要耐真空，更清洁，更耐用，以及更耐腐蚀。NTN开发了多种半导体制造业轴承专用材质，以及多种在超高真空环境、清洁环境及腐蚀环境中使用的润滑剂，满足了人们对半导体制造业中使用的轴承的期望。

这些材质和润滑主要包括马氏体不锈钢、MoS2磷酸盐涂层、特殊PTFE涂层、耐腐蚀涂层、陶瓷涂层等等，主要润滑脂包括低颗粒润滑脂、通用固体润滑脂、食品级、高温、抗放射性润滑脂、导电润滑脂（EP-2）、导电氟润滑脂（EF-2）等等，正是这些新材料，支撑起了半导体制造业用轴承。

这些轴承按使用环境可分为三类，一是航空航天设备，真空设备用的通用真空环境用轴承，二是半导体制造设备，LCD面板制造设备用的清洁环境用轴承，三是金属板蚀刻设备，显影剂，清洗设备用的腐蚀环境用轴承，也有三种类型兼备的轴承，这些轴承为半导体工业的发展，提供了重要的支持。

BARDEN, 120-HEDUL(1/2 BARDEN, 120-HEDUM(1/2 BARDEN, 120-HEUH BARDEN, 120-HEUL BARDEN, 120-HEUM BARDEN, 121H BARDEN, 121HDB BARDEN, 121-HDB(1/2 BARDEN, 121HDF BARDEN, 121-HDL BARDEN, 121-HDM BARDEN, 121HDT BARDEN, 122H BARDEN, 122-H BARDEN, 122-HD BARDEN, 122HDB BARDEN, 122HDF BARDEN, 122-HDH BARDEN, 122-HDL BARDEN, 122-HDM BARDEN, 122HDT BARDEN, 122-HETXTDUM(1/2 BARDEN, 122-HETXTUM BARDEN, 124H BARDEN, 124-HCDB(1/2 BARDEN, 124-HCDU(1/2 BARDEN, 124-HCDUL(1/2 BARDEN, 124-HCDUM(1/2 BARDEN, 124-HCU BARDEN, 124-HCUL BARDEN, 124-HCUM BARDEN, 124-HD BARDEN, 124HDB BARDEN, 015-T3DB50 BARDEN, 1/2X27 BARDEN, 100-BEDTL BARDEN, 100-BX9 BARDEN, 100-FF3 BARDEN, 100-FFX19K2CX0 BARDEN, 100-FX204DB10 BARDEN, 100H BARDEN, 100-H BARDEN, 100-HC BARDEN, 100-HCDUH(1/2 BARDEN, 100-HCDUL(1/2 BARDEN, 100-HCDUM(1/2 BARDEN, 100-HCUH BARDEN, 100-HCUL BARDEN, 100-HCUM BARDEN, 100HDB BARDEN, 100HDF BARDEN, 100-HDH BARDEN, 100-HDL BARDEN, 100-HDM BARDEN, 100HDT BARDEN, 100-HEDUL(1/2 BARDEN, 100-HJ6 BARDEN, 100-HJ6RC40 BARDEN, 100-K3 BARDEN, 100-S BARDEN, 100-SS3 BARDEN, 100-SSTX1 BARDEN, 100-SSTX1K6 BARDEN, 100-TA3 BARDEN, 100-YY BARDEN, 101-BEDTL BARDEN, 101-BX48 BARDEN, 101-BX48D20 BARDEN, 101-BX8 BARDEN, 101-FF BARDEN, 101-FFTX1K3 BARDEN, 101H BARDEN, 101-H BARDEN, 101-HC BARDEN, 101-HCDUL(1/2 BARDEN, 101-HCDUM(1/2 BARDEN, 101-HCU BARDEN, 101-HCUL BARDEN, 101-HCUM BARDEN, 101-HD BARDEN, 101HDB BARDEN, 101-HDB BARDEN, 101-HDBL BARDEN, 101HDF BARDEN, 101-HDF BARDEN, 101-HDL BARDEN, 101-HDM BARDEN, 101HDT BARDEN, 101-HEDUL(1/2 BARDEN, 101-HEUL BARDEN, 101-HJ6 BARDEN, 101-HJ6C BARDEN, 101-HJ6DTC BARDEN, 101-HTMT BARDEN, 101-HTMTDL BARDEN, 101-HX37K6 BARDEN, 101-SS3 BARDEN, 101-SSTX1K2C44 BARDEN,