BARDEN分子泵轴承的特点及分类

BARDEN分子泵轴承的特点及分类

半导体设备用分子泵简介（上）。

2）  涡轮分子泵前级真空压力

对于带有额外压缩级的涡轮分子泵，其前真空压力可以上升至 30 hPa以上。对于带有纯涡轮级的分子泵，**前真空压力为 2-3hPa，但是这取决于抽送气体的种类，如氮气为 2 hPa，氢气为 0.5 hPa。

由于泵的过热，超过生产商指定的**压力会导致轴承受损，情况严重的甚至会导致彻底失效。气体摩擦上升过高，且额外产生的压缩热无法消散。对于轴承和转子温度未受监测的泵，这尤其重要，且在很多情况下，是不可避免的。通过使用**终压力为2-5 hPa 的隔膜泵，操作员就可以带动设备的运行。除了隔膜泵，干式泵没有任何出口阀门。如果前级泵发生故障，将从前级侧对处理室进行排气，而且，如果由此导致涡轮分子泵速度的下降并没有因前级压力的快速上升而引发自动排气过程。由于外壳中所谓的直升飞机效应，大型处理室的突然排气会导致涡轮分子泵转子受损。

为保护涡轮分子泵不受损伤，生产商还提供了一个安全阀，在前级泵或前级真空失效的情况下，安全阀就会立即关闭处理室的排气装置。

关闭时间必须相对较短。如可进行前级压力测量，可利用压力上升或前级泵故障信号来对安全阀进行控制和操作。

3）  涡轮分子泵高真空和前真空连接

如果分子泵的高真空法兰连接至接受器，则有必要让前级管道更为灵活。如果前级管道为固定连接，则泵壳受热后无法膨胀，导致不当的材料应力。在该固定连接中，转子无法自由移动，且遗留下来的细微不平衡随着时间的推移会造成轴承故障，并会导致转子受损。

保持涡轮分子泵平衡性可以确保低振动运转和**的轴承耐用性。在正常启动过程中，根据转子动力学，他们会通过某种特定的共振频率。如果这些共振频率够刺激真空室、框架或整个系统的固有频率，他们就可以促进频率振幅的显著提升；在这种频率下，泵开始剧烈振动并发出非常大的声音。频繁在这些共振频率区域运行会导致转子受损，且可能会导致设备或内置振动敏感元件损坏。即便是带有磁轴承的涡轮分子泵也不例外。因此，**确定系统的固有频率，并就相关数值向制造商进行咨询。通过加固、增加额外重量或变换设计方案等可以避免振动的发生。

4）  安全连接高真空法兰/真空室

涡轮分子泵，尤其是抽速在 1000 l/s 以上、带有磁轴承和钟形转子的较大涡轮分子泵，在额定转速下具有较高的扭矩，在转子碰撞时，速度会以毫秒为单位降级。如果真空室布局不当且涡轮分子泵直接安装在其上时，则会发生真空室变形的情况，情况**严重时还会造成涡轮分子泵扭曲，甚至会与真空室法兰脱离。

近年来，主要受到半导体工业的驱动，泵制造商已经通过碰撞实验和控制分析对泵壳和入口法兰上的力矩和受力进行了确定和测试。实验发现，连接到真空室的法兰原则上应该按 ISO-F 执行。通过长圆孔及使用 ISO-CF 与固定螺钉，防止带 ISO-F 法兰的泵发生转动。

泵生产商会提供所谓的安装套件，其中包含所需材料等级足够数量的夹子和固定螺钉以及合适的定心环。只有这样才能却能确保在碰撞时连接保持完好、密封。必须严格遵守操作手册上的生产商说明。

5）  碎片保护

**后在涡轮分子泵的高真空法兰上插入防护罩，以避免坠落碎片损坏转子。根据电导损耗，抽速降低达30%，具体视气体类型而定。如可能，涡轮分子泵应该在真空室内倒置放置，因为异物会因重力而掉落下来。确保泵可用于高空作业。